[实用新型]一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置有效
| 申请号： | 202121737148.5 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN215328454U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 齐红基;王晓亮 | 申请（专利权）人： | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/16 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 徐凯凯 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种籽晶杆移动组件及晶体生长装置，籽晶杆移动组件包括：底座；X轴平移装置，与所述底座滑动连接；Y轴平移装置，与所述X轴平移装置滑动连接；壳体，设置于Y轴平移装置；转动件，设置于所述壳体内；籽晶杆，与所述转动件连接。通过在底座上设置X轴平移装置，并设置Y轴平移装置，将籽晶杆与转动件连接，转动件，设置于所述壳体内，且壳体与Y轴平移装置连接，通过X轴平移装置、Y轴平移装置以及转动件可以调整籽晶杆在水平面内的位置，从而调整籽晶杆上的籽晶在水平面内的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 移动 组件 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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