[实用新型]一种半导体供液设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体供液设备，包括箱体，所述箱体内壁固定连接有固定板，所述箱体内壁顶端设有风机，所述固定板顶部设有电热管，所述风机输出端位于固电热管顶部。本实用新型通过水泵将储液箱内部的经过输液管输送至加热器加热后从进液管输送至支撑板顶部，实现自动供液，通过超声波震荡使固定架外壁两侧的转动杆产生震动，配合连接滑杆外壁两侧的压缩弹簧，使清洗过程中进行晃动，清洗效果更好，有效防止清洗过程中半导体材料损坏，通过电热管空气进行加热后对清洗后的半导体材料进行烘干，既可以保证半导体材料的高效清洁，又不会造成清洗资源的浪费，从而节约清洗成本、提高清洗效率实用性强。