[实用新型]一种涡轮分子泵有效

专利信息
申请号: 202121779960.4 申请日: 2021-08-02
公开(公告)号: CN215256873U 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 张伟明;傅晔 申请(专利权)人: 上海盛剑环境系统科技股份有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D29/32;F04D29/54;F04D29/66
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 杨雪
地址: 201821 上海市嘉定区嘉*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种涡轮分子泵,属于分子泵技术领域。本实用新型的涡轮分子泵,包括泵壳、至少四个轮毂、至少四级叶轮组和驱动件,至少四个轮毂可转动地设置于泵壳内;叶轮组包括动叶轮和静叶轮,至少四级叶轮组的动叶轮一一对应地设置于至少四个轮毂上,且沿气流方向,动叶轮与静叶轮交替设置;动叶轮包括多个动叶片,动叶片为机翼形叶片,且轮毂的外径与对应的动叶轮的外径之比的范围为0.4‑0.7;单级叶轮组的压缩比范围为1.4‑2;驱动件用于驱动轮毂旋转。动叶片宽度较大,单级压缩比更高,在满足同等真空度要求下,能够减少涡轮分子泵的每级动叶轮的叶片数量,使得动叶轮构造更简单易于制造,还减少了对工况点不统一的影响。
搜索关键词: 一种 涡轮 分子
【主权项】:
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