[实用新型]一种用于精密机械精密加工的三坐标检测装置

摘要

本实用新型公开了一种用于精密机械精密加工的三坐标检测装置，包括用于保证检测件真空的密封机构和用于对检测件进行测量的检测机构以及用于配合调节使检测件水平的测平机构、调节机构，密封机构上端内部安装有检测机构，检测机构内侧安装有测平机构，测平机构之间设置有调节机构，调节机构上安装有吸附机构，密封机构前端安装有锁闭机构。本实用新型利用密封机构的真空以及配合测平机构的检测，利用调节机构配合测平机构对待检测物进行水平调整，达到避免外部空气对激光的影响，保证待检测物在上端面的水平，提高检测精度，利用调节机构配合检测机构亦可对一些侧面倾斜的待测物进行相对距离的测量，提高装置的实用性。