[实用新型]充氦管及其防漏氦装置

摘要

本实用新型提供了一种充氦管及其防漏氦装置，涉及充氦设备技术领域。该充氦管包括排氦管以及依次相连的第一连接头、导氦管和第二连接头。第一连接头开设有进氦口和抽氦口。第二连接头上开设有出氦口，进氦口、导氦管和出氦口依次连通。排氦管套设在导氦管外，排氦管和导氦管之间留置有排氦间隙，排氦间隙与抽氦口连通，若封堵抽氦口，排氦间隙和抽氦口能够形成密闭空间。该充氦管的防漏氦装置包括清氦泵，清氦泵与抽氦口连通。通过在排氦管和导氦管之间留置排氦间隙，便于通过抽氦口将从导氦管渗透至排氦间隙内的氦气抽出，以免排氦间隙内的氦气渗透至真空箱内，而影响工件的检漏。