[实用新型]MEMS麦克风及其背极板有效
| 申请号： | 202121830903.4 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN215453271U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 吕婷 | 申请（专利权）人： | 瑶芯微电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风及其背极板，所述背极板包括：支撑背板，设置有中部区，所述中部区分为第一开孔区及第二开孔区，所述第一开孔区设置有若干贯穿所述支撑背板的第一进声孔，所述第二开孔区设置有若干贯穿所述支撑背板的第二进声孔，所述第一进声孔的孔径大于所述第二进声孔的孔径；所述第二开孔区的边缘外侧设置有凹槽，所述凹槽贯穿所述支撑背板；背极，位于所述支撑背板的下表面；电极，设置在所述凹槽表面以及所述支撑背板上表面的部分区域，用于传输所述背极中的电信号；背极板焊盘，设置在所述支撑背板的上表面，并与所述电极连接。本实用新型的MEMS麦克风及其背极板可以降低电噪声，提高电信号的输出效率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 极板 | ||
【主权项】：
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