[实用新型]腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构有效
| 申请号： | 202121857552.6 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN215757027U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 夏孝平;贺贤汉;徐淑文;曹豪杰 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陆叶 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造设备领域。腔体式石英坩埚熔融机隔热板腔体排风结构，包括一用于安装隔热板的腔体，腔体的上下开口，腔体的侧壁上开设有排风口，排风口安装有排风法兰，排风法兰的中央开设有矩形开口，排风法兰的四个角部设有连接孔；还包括一矩形石英挡板，矩形石英挡板的面积小于矩形开口的面积，矩形石英挡板的上侧或者下侧开设有左右设置且用于安装在矩形开口的单侧的安装孔；还包括排风转接头，排风转接头与排风法兰可拆卸连接，且排风转接头与排风法兰之间设有密封圈；排风转接头上设有用于对接排风管路的圆形法兰盘。本专利通过优化熔融机隔热板腔体排风结构，便于针对于不同的工况进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 石英 坩埚 熔融 隔热板 腔体排风 结构 | ||
【主权项】：
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