[实用新型]一种半导体电学性能测试装置有效
| 申请号： | 202121882807.4 | 申请日： | 2021-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN215728597U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 朱明兰;左万胜;胡新星;仇成功;赵海明;钮应喜;袁松;王丽多 | 申请（专利权）人： | 芜湖启迪半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 孟迪 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市弋江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种半导体电学性能测试装置，属于半导体性能测试技术领域，该测试装置，包括定位卡盘及其周向设置的多个导向夹紧装置，定位卡盘上吸附定位有晶圆，导向夹紧装置包括夹紧杆，多个夹紧杆弹性夹紧晶圆的外侧后形成接触电极，晶圆上方一段距离处设置探针，本实用新型的有益效果是，该测试装置结构简单、操作方便，兼容多种半导体晶圆尺寸，适用于含导电及绝缘衬底的半导体，可避免接触半导体表面，减少了半导体表面沾污，提高了良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 电学 性能 测试 装置 | ||
【主权项】：
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