[实用新型]一种单晶炉用晶棒下料组件有效
申请号: | 202121917748.X | 申请日: | 2021-08-16 |
公开(公告)号: | CN215560797U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 | 申请(专利权)人: | 绍兴赛致捷机电设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
代理公司: | 北京众允专利代理有限公司 11803 | 代理人: | 沈小青 |
地址: | 312000 浙江省绍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶棒加工技术领域,公开了一种单晶炉用晶棒下料组件,包括固定在旋转抱夹小车的转盘上的基座,基座的上侧设置有呈“凵”字形的第一夹持臂,基座的下侧设置有呈“凵”字形的第二夹持臂,第一夹持臂和第二夹持臂的两端均设置有卡爪,基座上设置有第一驱动件。利用第一驱动件带动第一夹持臂和第二夹持臂朝向相互靠近的一侧移动,随后第一夹持臂和第二夹持臂端部的卡爪即可夹紧在晶棒上,通过第一夹持臂和第二夹持臂即可实现对晶棒的稳定夹持,同时转盘通过旋转抱夹小车下降后,即可取下从单晶炉上下落中的晶棒;最终实现对单晶炉内下落的晶棒进行稳定的夹持,从而有利于晶棒的稳定下料。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用晶棒下料 组件 | ||
【主权项】:
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