[实用新型]掩膜版上版装置及光刻机有效
| 申请号： | 202121922406.7 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN215376087U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 叶小龙;刘宇琪 | 申请（专利权）人： | 深圳市龙图光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 | 代理人： | 欧志明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜版上版装置及光刻机，该装置包括：上版夹具、第一伸缩杆、第一移动板、第二伸缩杆以及第二移动板。本申请提供的上述方案，第一伸缩杆能够带动第一移动板沿垂直于横向定位板的方向移动，且由于第一伸缩杆本身能够相对伸缩，当第一伸缩杆本身伸缩的时候，就可以带动第一移动板沿垂直于竖向定位板的方希移动，同理，第二移动板也能够沿垂直于竖向定位板的方向移动，且第二移动板也能够沿垂直于横向定位板的方向移动，当掩膜版放置到上版夹具上时，掩膜版位于第一移动板和第二移动板形成的空间中，通过调节第一移动板和第二移动板的相对位置，就可以方便适应不同尺寸的掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版上版 装置 光刻 | ||
【主权项】：
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