[实用新型]一种半导体靶材夹具有效
| 申请号： | 202121928910.8 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN215357374U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;郭周承;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/06 | 分类号： | B23Q3/06;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体靶材夹具，所述的半导体靶材夹具包括本体，所述本体表面设置有定位板和第一定位销，所述的定位板表面开设至少两个限位槽，所述限位槽底部设置磁铁，将所述第一定位销插入限位槽内，所述的磁铁与第一定位销过盈配合实现半导体靶材的定位。半导体靶材夹具结构简单，操作方便，通过更换不同尺寸的定位销，可适用于不同规格的靶材的把持；定位销底部过盈配合磁铁，保证定位销在搬运，装卸过程中不脱落，不松动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 夹具 | ||
【主权项】：
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