[实用新型]一种吸料装置及单晶炉吸料设备有效
申请号: | 202121956026.5 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN216156010U | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 杜超;邓浩;李侨;韩伟;董升 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开一种吸料装置及单晶炉吸料设备,涉及晶棒制造技术领域,以解决单晶炉内存在杂质问题。吸料装置包括容置组件,其具有密闭的容纳腔;吸管组件,连接于容置组件,吸管组件具有相对的第一端部和第二端部,第一端部位于容纳腔内并与容纳腔连通,吸管组件的第二端部位于容纳腔外,吸管组件还具有连通第一端部与第二端部的吸取通道,吸取通道将容纳腔与容置组件外部相连通。由于单晶炉内的杂质硅料能够被吸料装置吸除,可继续加入新的硅料,实现单晶炉的可持续加料生产。单晶炉吸料设备包含该吸料装置,利用压差将硅料压入容纳腔中,移出单晶炉后继续拉晶工序。 | ||
搜索关键词: | 一种 装置 单晶炉吸料 设备 | ||
【主权项】:
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