[实用新型]基于线结构光的薄膜均匀性检测系统有效
| 申请号： | 202121963070.9 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN215865743U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 董俊;马冬;何俊明;马凡;徐盼盼;姜铭坤;黄小文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人： | 李璐 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；采集单元的输出端连接处理单元的输入端，处理单元的输出端连接存储单元，控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接；所述成像单元用于产生网格图像，依次包括光源、滤光片和网格衍射光栅，光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节，再经过网格衍射光栅后进行衍射分光，形成连续的网格光斑投射到薄膜被测区域；所述采集单元包括载物台和多个线阵相机，载物台上薄膜被测区域形成的网格图像反射到对应的线阵相机。本实用新型能够满足薄膜绝大多数缺陷类型检测所需的图像质量要求，实现薄膜表面的均匀性检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 结构 薄膜 均匀 检测 系统 | ||
【主权项】：
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