[实用新型]硅片花篮有效

专利信息
申请号: 202121975916.0 申请日: 2021-08-20
公开(公告)号: CN216133850U 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 李倩;孙小娟;王静;张东升 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 柳萌
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型提供了一种硅片花篮,所述硅片花篮包括上端板、下端板和侧板,下端板与所述上端板上下间隔设置;侧板,具有左右间隔设置的两个,所述侧板的上下两端分别与所述上端板和所述下端板相连;各所述侧板上具有由上而下设置的若干卡槽,其中一个所述侧板上的所述卡槽与另一个所述侧板上的所述卡槽一一对应;所述卡槽的槽深由前至后逐渐变浅。本实用新型提供的硅片花篮解决了装卸硅片发生卡顿、碎片的问题。
搜索关键词: 硅片 花篮
【主权项】:
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