[实用新型]一种用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块

摘要

本实用新型提供了一种用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块，LPCVD模块包括：具有第一连接端口和第二连接端口的底座本体、和具有第一注射器口和第二注射器口的注射器；其中，所述底座本体还具有第一气体引导管和第二气体引导管，所述第一气体引导管位于所述第一连接端口内，所述第二气体引导管位于所述第二连接端口内；所述第一连接端口与所述第一注射器口连接，所述第二连接端口与所述第二注射器口连接，由此本实用新型提供的用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块降低了所述注射器与所述底座本体安装不完美的情况下发生气体泄漏的风险，从而保障了后续产品的良率和可靠性。