[实用新型]一种单晶炉加热器升降装置及单晶炉有效
| 申请号： | 202122177246.4 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN216156013U | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 张朝光;朱永刚;李侨 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 何丽娜;王胜利 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种单晶炉加热器升降装置及单晶炉，涉及单晶硅生长技术领域。用于提高热利用率以及提高晶棒的品质。单晶炉加热器升降装置包括升降模组，升降模组为多个，多个升降模组均设置在单晶炉的下方，由多个升降模组围合形成第一区域，第一区域与单晶炉内坩埚放置区域相对应；与每一升降模组对应均设置：空心密封组件，空心密封组件的顶端紧固设置于单晶炉的下方，空心密封组件的底端随升降模组升降；电极，电极的底端容纳在空心密封组件内，电极的顶端贯穿单晶炉的炉底后容纳在单晶炉内；电极随升降模组升降；连接件，连接件的底端与电极的顶端连接，连接件的顶端与加热器连接；电极、连接件和加热器所具有的内侧面共面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 加热器 升降 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于隆基绿能科技股份有限公司，未经隆基绿能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122177246.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种PE发泡板的切割装置
- 下一篇：一种气压压力校验台
