[实用新型]连续多通道检测MO源浓度的装置有效

专利信息
申请号: 202122178318.7 申请日: 2021-09-09
公开(公告)号: CN216411188U 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 郑锐;彭真;王宏波;俞冬雷 申请(专利权)人: 安徽亚格盛电子新材料有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01G19/52;G01N35/00
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 杨静
地址: 241000 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置,包括有至少四个源瓶,所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐;所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路,测试管路末端连接有浓度测试仪,浓度测试仪连接有末端管路;所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路,旁通管路连接着缓冲罐;末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐,缓冲罐也连接在末端管路上;所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接,进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的。
搜索关键词: 连续 通道 检测 mo 浓度 装置
【主权项】:
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