[实用新型]连续多通道检测MO源浓度的装置有效
申请号: | 202122178318.7 | 申请日: | 2021-09-09 |
公开(公告)号: | CN216411188U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 郑锐;彭真;王宏波;俞冬雷 | 申请(专利权)人: | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00;G01G19/52;G01N35/00 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 杨静 |
地址: | 241000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置,包括有至少四个源瓶,所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐;所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路,测试管路末端连接有浓度测试仪,浓度测试仪连接有末端管路;所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路,旁通管路连接着缓冲罐;末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐,缓冲罐也连接在末端管路上;所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接,进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的。 | ||
搜索关键词: | 连续 通道 检测 mo 浓度 装置 | ||
【主权项】:
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