[实用新型]废光致抗蚀剂再生利用装置有效
| 申请号： | 202122181083.7 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN216404099U | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 殷晓飞;蔡璐;董成;朱杨杨;刘彬 | 申请（专利权）人： | 常州少伯环保材料有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/10 | 分类号： | C02F9/10;C02F1/44 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 孙丽 |
| 地址： | 213133 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种废光致抗蚀剂再生利用装置，包括依次相连的剥离装置、膜分离器、蒸馏罐、浓度调和罐和输出罐；所述浓度调和罐的输入端分别通过对应阀门连接有机溶剂罐、烷胺醇贮存槽和原料罐；所述剥离装置包括剥离槽和至少一个过滤器；所述剥离槽通过阀门和管路配合后与过滤器形成循环回路，剥离槽的过滤液输出口连接至剥离装置的输入口。本实用新型可以实现光致抗蚀剂再生利用，降低了企业生产成本，减少大量废液所造成的环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 废光致抗蚀剂 再生 利用 装置 | ||
【主权项】：
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