[实用新型]一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套

摘要

本实用新型涉及一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，包括内套和套设在内套外部的外套，所述外套的内部开设有油孔，所述内套的内壁上开设有与油孔连通的油槽，所述内套的内壁上还设置有垫圈。该集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，通过设置高强度的复合结构内套连接轴承座承载作用力，从而避免外部的外套承受较大作用力，同时通过设置垫圈对扭力进行吸收，以及螺纹状排布的螺纹槽将润滑油均匀分布，实现了对作用力的减缓，避免了过大的作用力使得轴套产生裂纹，解决了现有技术中应用于电路清洗设备的轴套，承载能力差，强度低，容易与轴承座之间产生较大摩擦，而使得其外部出现裂纹的问题。