[实用新型]一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置有效
| 申请号： | 202122192054.0 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215983754U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周良海 | 申请（专利权）人： | 南京蔚蓝新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B21/00;F26B25/02;F26B21/08;F26B25/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 林宏英 |
| 地址： | 211126 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，涉及蓝宝石半导体加工技术领域，为解决现有的蓝宝石半导体清洗后晾干速度较慢的问题。所述桶体外部的两侧分别设置有进气管和排气管，且进气管和排气管与桶体固定连接，所述进气管的内部安装有第三驱动电机和加热装置，所述第三驱动电机通过第一固定架与进气管连接，所述第三驱动电机的输出端安装有第一扇叶，所述排气管的内部安装有第四驱动电机和干燥转轮，所述第四驱动电机与排气管通过第二固定架连接，所述干燥转轮与第二固定架转动连接，所述第四驱动电机的输出端安装有第一驱动齿轮，所述干燥转轮的外部设置有第一传动齿环，所述第一驱动齿轮与第一传动齿环的外部安装有传动带。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 半导体 清洗 备用 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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