[实用新型]防开裂的旋转靶材总成有效
| 申请号： | 202122201582.8 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215925061U | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 周昭宇;周志宏;肖世洪;雷雨;汪政军 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 劳觅 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及旋转靶材加工领域，具体涉及一种防开裂的旋转靶材总成。本实用新型提供一种防开裂的旋转靶材总成，包括背管和至少两段旋转靶材管，这些旋转靶材管轴向排列，套在背管外侧，随背管一同绕背管轴线旋转，旋转靶材管内径大于背管外径，相邻的两段旋转靶材管间隔有足够距离。该防开裂的旋转靶材总成，其旋转靶材管不容易开裂，旋转靶材总成使用寿命长，且无需为绑定工序耗费更多的时间，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 开裂 旋转 总成 | ||
【主权项】：
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