[实用新型]一种射频放电引燃真空电弧起弧装置有效
| 申请号： | 202122203641.5 | 申请日： | 2021-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN215787348U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 许建平;陈晶;李青川;潘岩;陈昊 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省海振科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K9/067 | 分类号： | B23K9/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150050 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种射频放电引燃真空电弧起弧装置。本实用新型为了提高已有空心阴极真空电弧起弧稳定性。本实用新型包括空心阴极、射频电源、电弧电源、电感线圈、陶瓷绝缘帽、阴极法兰、绝缘垫、阴极夹等，阴极法兰通过绝缘垫与真空室绝缘密封连接，陶瓷绝缘帽与阴极夹螺纹连接，电感线圈串联至射频电源阴极与空心阴极的回路，射频电源和电弧电源的共同阴极和阳极分别连接空心阴极和工件。本实用新型具有稳定性起弧的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 放电 引燃 真空 电弧 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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