[实用新型]一种序批式多晶硅氢氟酸酸洗废液处理反应釜有效
申请号: | 202122205461.0 | 申请日: | 2021-09-13 |
公开(公告)号: | CN216149739U | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 蔡诚;朱雪梅;朱嘉祥;李倩;杨名中 | 申请(专利权)人: | 南京中电环保水务有限公司 |
主分类号: | B01J19/18 | 分类号: | B01J19/18;C02F1/66;C02F101/14 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 唐少群 |
地址: | 210031 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种序批式多晶硅氢氟酸酸洗废液处理反应釜,包括:反应釜体,混合驱动装置,其设置在反应釜体的顶部;刮泥驱动装置,其设置在反应釜体的底部,刮泥驱动装置与混合驱动装置的主轴轴心共线;组合式搅拌器,其包括混合搅拌器和刮泥搅拌器,混合搅拌器和刮泥搅拌器的转轴为同轴的套轴式结构,主轴不同,转速不同,实现了同轴不同速;本实用新型实现了反应装置的气体密封程度高、自动化程度高、功能集成化程度高、反应过程稳定安全等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 序批式 多晶 氢氟酸 酸洗 废液 处理 反应 | ||
【主权项】:
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