[实用新型]一种真空镀膜机的冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷却装置，属于真空镀膜机技术领域。一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。本实用新型利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。