[实用新型]一种包裹式气流沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种包裹式气流沉积装置，包括一个工艺腔室、与工艺腔室配套设置的铝舟载板、放置在铝舟载板上的至少一个铝舟，铝舟包括两片竖板和垂直连接两片竖板的若干横杆，竖板所在的方向与铝舟载板的移动方向垂直，铝舟的两个竖板之间的硅片放置方向与竖板所在方向平行，工艺腔室的气流方向与硅片垂直。本实用新型工艺腔室的气流方向与硅片垂直，工艺气体形成对硅片的包裹式气流，反应气流改变现有的对硅片穿插式气流走向，改为包裹式气流走向，降低双插硅片背面氧化铝的绕镀概率，同时改善钝化面氧化铝的膜厚均匀性，提高电池整体性能和效率。