[实用新型]单晶炉连续加料智能控制系统有效
| 申请号： | 202122265657.9 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN216473575U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 郭晓琛;乔帅帅;李远田;燕靖;边丽媛;关春洋;吴亚娟 | 申请（专利权）人： | 徐州美芯半导体材料科技有限公司;江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/28 | 分类号： | C30B15/28;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种单晶炉连续加料智能控制系统，包括第一称重器、计时器、控制器以及加料装置，控制器内部预先设定有重量值G和时间间隔T；第一称重器用于采集晶棒的重量信息，加料装置用于存储固体原料，并通过称重传输装置将附体原料添加到坩埚内，第一称重器、第二称重器、皮带传输装置的电机以及出料阀分别通过控制电路与控制器电连接。本实用新型通过对比晶棒固定时间段前后重量差，判断是否需要加料，若需要加料，则向坩埚内加料，加料重量等于上述重量差时，则停止加料，从而完成加料动作。本实用新型能够智能控制加料量，加料精确度高，能够满足晶棒生长对原料的要求，同时能够避免加料过程中在坩埚中产生飞溅。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 连续 加料 智能 控制系统 | ||
【主权项】：
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