[实用新型]凹槽检测台及包含该凹槽检测台的传感器检测装置

摘要

本实用新型公开了凹槽检测台及包含该凹槽检测台的传感器检测装置,凹槽检测台，所述检测台包括下部矩形底座和设置在底座上部的观察板,底座中部设置有用于放置待测硅片的凹槽,观察板上设置有两个矩形观察洞口，相邻两个观察洞口之间的板体上还开设有滴液长孔，观察板底部、滴液长孔正下方四周边缘设置有密封垫层，所述底座和观察板的四个角部分别对称设置用于穿过螺栓的孔洞。本实用新型提供的凹槽检测台，制作简单、材料来源广泛、成本低廉，组装方便，视野好。精度高。填补了现阶段实验没有合适装置的空白。