[实用新型]一种VCSEL有效
申请号: | 202122326013.6 | 申请日: | 2021-09-24 |
公开(公告)号: | CN216085701U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 潘德烈 | 申请(专利权)人: | 深圳市德明利光电有限公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183 |
代理公司: | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人: | 何兵;吕诗 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种VCSEL,包括依次层叠的一次蚀刻台面、二次蚀刻台面和三次蚀刻台面,其中,所述一次蚀刻台面内设有氧化孔,在所述氧化孔的光窗平台上设有微透镜,当所述微透镜的焦点与所述光窗平台的中心轴之间的距离大于0,使出射光偏向所述微透镜的焦点相对于所述光窗平台的中心轴的一侧。 | ||
搜索关键词: | 一种 vcsel | ||
【主权项】:
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