[实用新型]一种加热器及真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202122398697.0 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN215856298U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张波;王德智;余海春;戴秀海;龙汝磊;邵鑫 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 廖微 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种加热器及真空镀膜装置。该加热器包括加热组件。具体而言，加热组件包括加热容器和加热丝，且加热容器包括底部和侧壁，侧壁沿底部的外周轮廓向上延伸而形成，加热丝设置在侧壁的外周和底部的下方，从而增大加热容器的加热面积，提高加热容器升温速度，从而提高加热器的加热效率。本实用新型还公开了一种真空镀膜装置，通过上述加热器，以达到升温快、提高加热效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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