[实用新型]处理液供给装置有效

专利信息
申请号: 202122414206.7 申请日: 2021-10-08
公开(公告)号: CN216597511U 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 宇都宫由典 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;G03F7/30
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种处理液供给装置。在处理液供给装置中的处理液的贮存容器更换时,以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式通知更换后的贮存容器是否适当。处理液供给装置对使用处理液处理基板的基板处理装置供给处理液,具备:收容部,其具有多个分区,各分区被从一侧面侧设置贮存有处理液的贮存容器;获取部,针对分区分别设置获取部,获取部从附在设置于对应的分区的贮存容器的侧面的识别信息保持部获取该贮存容器的识别信息;以及通知部,针对分区分别设置通知部,通知部基于对应的分区的获取部的获取结果,以发光元件的发光状态来通知该分区中的贮存容器的设置状态,其中,通知部的发光元件向一侧面侧发光。
搜索关键词: 处理 供给 装置
【主权项】:
暂无信息
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