[实用新型]一种硅粉热氧化装置有效
申请号: | 202122418988.1 | 申请日: | 2021-10-08 |
公开(公告)号: | CN215823034U | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 吉恒松;张梅;李翔;刘志金 | 申请(专利权)人: | 泰州市海创新能源研究院有限公司 |
主分类号: | B01J19/00 | 分类号: | B01J19/00;B01J19/24;F27B9/04;F27B9/06;F27B9/26 |
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地址: | 225300 江苏省泰州市海*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅粉热氧化装置,包括装置本体、炉管组件、保温层、加热管、梳状支架、载物小车,所述的炉管组件安装在装置本体上且贯穿于装置本体,所述的保温层环状布置于炉管组件的外圆周,所述的保温层和炉管组件之间设置有梳状支架,所述的保温层内壁靠近梳状支架侧设置有螺旋结构的加热管,所述的载物小车设置在炉管组件内。采用T型锁紧柄,可以在进行氧化过程中,对小车进行固定,当对T型锁紧柄向下施压时,由于平顶圆锥体与矩形槽口形成锥面卡紧,可以有效防止载物小车在进行热氧化过程中的移动,也可以防止由于地面不平造成的倾斜,不能够良好固定载物小车在石英炉管内的某一个位置。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅粉热 氧化 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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