[实用新型]一种快速提高真空系统真空度的装置有效
| 申请号： | 202122420443.4 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN216617932U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 师振莲;李子亮;王鹏军;张靖 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/00;G02B27/00 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人： | 张福增 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种快速提高真空系统真空度的装置，包括：高功率全固态激光器、二分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光学垃圾堆、第一反射镜、第二反射镜、聚焦透镜、真空系统、分子泵；所述的高功率全固态激光器输出的激光，依次通过二分之一波片和偏振分光棱镜；偏振分光棱镜的反射光束进入光学垃圾堆；偏振分光棱镜的透射光束再依次通过准直透镜、第一反射镜、第二反射镜和聚焦透镜，最后照射在真空系统的腔体内表面上；分子泵与真空系统使用波纹管相连。本实用新型可广泛应用于需要高真空度真空系统的实验中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 提高 真空 系统 装置 | ||
【主权项】：
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