[实用新型]基于MEMS热式流量芯片的气体流量传感器主控电路有效

专利信息
申请号: 202122431022.1 申请日: 2021-10-09
公开(公告)号: CN215811050U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 雷世安;何云琦;谢立坚;刘伟 申请(专利权)人: 博思发科技(深圳)有限公司
主分类号: G01F15/00 分类号: G01F15/00
代理公司: 深圳华屹智林知识产权代理事务所(普通合伙) 44785 代理人: 陈建
地址: 518000 广东省深圳市福田区梅林街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型实施例提供一种基于MEMS热式流量芯片的气体流量传感器主控电路,包括:稳压电路、MEMS热式流量芯片、MCU和输出电路,稳压电路包括第一稳压器、第二稳压器、反向保护二极管和第三稳压二极管;第一稳压器将从外部输入电压端输入的外部输入电压转换成加热电压,第二稳压器将第一稳压器输出的加热电压转换成MCU的工作电压;反向保护二极管和稳压二极管进行电路保护;MEMS热式流量芯片检测流量信号,将流量信号转换成电压信号;输出电路包括第一串行总线接口、第二串行总线接口和电压跟随器,第一串行总线接口和第二串行总线接口连接MCU,电压跟随器缓冲和稳定电压信号,结构小巧,成本低、体积小、灵敏度高,能够对微小流量进行精确计量。
搜索关键词: 基于 mems 流量 芯片 气体 流量传感器 主控 电路
【主权项】:
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