[实用新型]样品传送系统有效
| 申请号： | 202122458253.1 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN215628426U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王新;陶章峰 | 申请（专利权）人： | 材料科学姑苏实验室;埃特曼（苏州）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B25/02;C30B25/16 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 艾中兰;王锋 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种样品传送系统，包括样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道及自动输送通道，MOCVD托盘通道用于将MOCVD托盘或承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；MBE托盘通道用于将MBE托盘或承载有样品的MBE托盘输送给样品传递室；自动输送通道用于将样品传递室内MOCVD托盘上的样品转移到MBE托盘上，或将样品传递室内的MBE托盘上的样品转移到MOCVD托盘上，并将完成样品转移后的MOCVD托盘输送给MOCVD托盘通道或将完成样品转移后的MBE托盘输送给MBE托盘通道；MBE托盘通道还用于将承载有样品的MBE托盘输送给MBE系统，MOCVD托盘通道还用于将承载有样品的MOCVD托盘输送给MOCVD系统。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 传送 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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