[实用新型]一种扩散炉数据采集与监控系统有效
| 申请号： | 202122467706.7 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN215910827U | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 潘笑星;郭昊鑫;孙博 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/22 | 分类号： | G05D23/22 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 张红平 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供的扩散炉数据采集与监控系统，涉及半导体器件生产技术领域。扩散炉数据采集与监控系统包括：扩散炉、温度检测单元、流量检测单元，及分别与温度检测单元和流量检测单元连接的计算机设备。在上述结构中，温度检测单元采集扩散炉的不同位置处的温度信息，流量检测单元采集扩散炉的不同进气管道的流量信息，温度检测单元和流量检测单元与计算机设备连接，通过计算机设备对温度信息及流量信息进行实时监控。通过上述结构可以实现对扩散炉的温度与流量进行实时监控，便于控制扩散炉的炉温和流量，确保半导体器件的制作质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 数据 采集 监控 系统 | ||
【主权项】：
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