[实用新型]一种含有超疏水结构的微流控芯片

摘要

本实用新型提供了一种含有超疏水结构的微流控芯片，属于微流控芯片技术领域，将芯片范围划分为液滴驱动有效区和非有效区，疏水区的范围包含所述液滴驱动有效区的全部范围和非有效区的部分范围，非有效区的另一部分范围为芯片的外围区域，在疏水区内设置超疏水结构实现超疏水功能，超疏水结构是在绝缘层的上方制备特殊形状的表面微米阵列或纳米阵列。本实用新型的含有超疏水结构的微流控芯片及其制备方法，避免了现有技术中采用进口含氟疏水材料的方式，能完全实现国产化，不再受国际贸易因素影响，同时也节省了采购和工艺成本，具有重要意义，适用性更广泛。