[实用新型]一种防腐耐磨半导体加工腔室有效
| 申请号： | 202122469901.3 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN216291846U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 钱伟 | 申请（专利权）人： | 南通通州东大机械有限公司 |
| 主分类号： | H05K5/03 | 分类号： | H05K5/03;B08B1/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 谭波 |
| 地址： | 226361 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防腐耐磨半导体加工腔室，包括加工腔室主体、控制面板和数显屏，所述加工腔室主体上安装有控制面板，所述控制面板上安装有数显屏，所述控制面板两侧皆固定有固定座，两组所述固定座相对一端皆开设有导向槽，两组所述固定座之间设置有滑盖板，所述滑盖板外壁两侧皆固定有导向块，两组所述导向块皆嵌入导向槽内，所述滑盖板外壁固定有第一拉把，所述滑盖板上开设有观察窗。通过设置的固定座、导向槽、滑盖板、导向块和第一拉把的相互配合，使滑盖板完全覆盖在控制面板外部，形成对控制面板的防护作用，能够有效避免外界误触控制面板，再通过设置在观察窗，让使用者从而外部能够直接观察数显屏上的数据参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防腐 耐磨 半导体 加工 | ||
【主权项】：
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