[实用新型]一种三维形貌测量的光路结构有效
| 申请号： | 202122485982.6 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN216745971U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 高视科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 韩玲 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三维形貌测量的光路结构，包括一个半导体激光器、分束镜、第一成像物镜、第二成像物镜、第一位置探测器和第二位置探测器；半导体激光器发射的激光光束经分束镜分束后形成第一激光光束和第二激光光束；第一激光光束和第二激光光束满足空间正交，且两束激光入射至待测表面上的同一点；待测表面反射两束光分别至第一成像物镜、第二成像物镜上，经聚焦后分别入射第一位置探测器和第二位置探测器。本实用新型通过一个半导体激光器形成两束激光光束，两束激光光束入射待测表面的同一点，通过两个位置敏感探测器得到同一点的两个方向上的位置信息，再将数据分解为测量区域的相对高度与测量面的空间倾斜方向，测量的精度更高、成本低，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 形貌 测量 结构 | ||
【主权项】：
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