[实用新型]一种FLASH晶圆自动检测机有效
| 申请号： | 202122509456.9 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN216310188U | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 庄义发;王顺丰;陈金锋 | 申请（专利权）人： | 广西科林半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;G01R1/04;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 | 代理人： | 曾令安 |
| 地址： | 530000 广西壮族自治区南宁市吴圩镇园艺一路52*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种FLASH晶圆自动检测机，包括工作台和驱动电机，所述驱动电机位于所述工作台下方，所述工作台上设有四轴驱动机构及多个检测机构，所述驱动电机分别与四轴驱动机构和检测机构电连接；所述检测机构包括安装板，所述安装板固定安装在所述工作台下表面，所述安装板一侧固定设置有针卡固定组件，另一侧固定设置有产品固定组件，所述产品固定组件位于所述工作台上表面，所述针卡固定组件位于所述产品固定组件的上方。通过四轴驱动机构与检测机构配合，从而实现自动上下料和对产品进行检测。本实用新型解决了手动检测晶圆，人工成本高、操作不便、生产效率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 flash 自动检测 | ||
【主权项】：
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