[实用新型]一种在真空烘干机构中的密封闭合装置

摘要

本实用新型涉及半导体及太阳能清洗设备真空烘干技术领域，具体是一种在真空烘干机构中的密封闭合装置。其包括防尘装饰盖、密封闭合板、连接固定机构、把手，密封闭合板上开有凹进去的槽，使其更严密的与槽体密封条贴合；本实用新型的有益效果是：密封闭合装置以自身重量压紧槽体，并带有凹槽可以更好的起到密封效果；不受环境条件影响，能够显著提高操作的可靠性，同时此装置反应灵敏，能及时对异常做出反应，有效降低因异常带来的损害。真空烘箱是在负压下工作，氧含量少，可以减少或杜绝氧化反应，这就需要烘箱的内胆能够与外界隔绝的，想要有真空度的要求，就需要有一些要求较高的工艺来作为保障。