[实用新型]一种热丝加热装置及热丝化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种热丝加热装置及热丝化学气相沉积设备，热丝加热装置包括工件安装位、第一装夹装置、第二装夹装置和热丝；热丝包括依次分布的第一热丝端部、热丝中部和第二热丝端部；第一热丝端部装夹于第一装夹装置上，第二热丝端部装夹于第二装夹装置上。将热丝的两端分别装夹在第一装夹装置和第二装夹装置上，热丝的热丝中部设置于第一装夹装置和第二装夹装置之间，沿水平分布，为工件提供主要的热量；而热丝的第一热丝端部和第二热丝端部装夹于对应的装夹装置上，设置于热丝中部与工件安装位之间，两者的延伸方向与水平方向不平行，即在竖直方向上，热丝端部更靠近工件，并能从侧面为工件提供辅助的热量，保证产品的镀膜质量的一致性。