[实用新型]一种酸性蚀刻液循环回用装置有效

专利信息
申请号: 202122562791.5 申请日: 2021-10-25
公开(公告)号: CN216378426U 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 宁萌萌;张德香;孔晓东;邵勇;陈亚钦 申请(专利权)人: 四川江化微电子材料有限公司
主分类号: C25C1/12 分类号: C25C1/12;C25C7/06;C23F1/46
代理公司: 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 代理人: 梁月钊
地址: 620800 四川省眉*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型涉及蚀刻液回收领域,目的在于提供一种具有结构简单、实用性强等优点的酸性蚀刻液循环回用装置。采用的技术方案为:一种酸性蚀刻液循环回用装置,包括电解池,所述电解池内设有自动调节液位的控制组件,所述控制组件包括设置在电解池底部的安装罩,所述安装罩上连接有进液管,所述安装罩上设有出液孔,所述安装罩上穿设有连接杆,位于安装罩内部的连接杆的端部处设有封堵部,所述连接杆的顶端设有浮板。
搜索关键词: 一种 酸性 蚀刻 循环 装置
【主权项】:
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