[实用新型]一种真空吸附式晶圆测试探针座

摘要

本实用新型涉及测试探针技术领域，且公开了一种真空吸附式晶圆测试探针座，包括安装座，所述安装座的左侧开设有空腔，所述安装座的左侧固定有吸盘，所述安装座的底部固定有排气管，所述排气管的顶端与空腔相连通，所述排气管的中部安装有单向阀，所述安装座的顶部固定有进气管，所述进气管的底端与空腔相连通，所述进气管的外侧固定有挡环。该真空吸附式晶圆测试探针座，通过设置安装座、空腔、吸盘、排气管、单向阀、进气管、挡环、通气口、螺纹部、密封盖、第一密封环、第二密封环、固定块、安装槽、第一防护垫、测试探针本体、压板、第二防护垫、螺纹柱、转柄、插杆和套杆，以便于对测试探针本体进行拆卸更换。