[实用新型]一种取料放置工装

摘要

一种取料放置工装，包括放置架，放置架的正上方设有转移机构，转移机构设有夹持机构，放置架用于多个晶圆盘的放置，转移机构用于带动夹持机构沿其运动方向进行运动，以通过夹持机构对晶圆盘进行转移，放置架包括长板条，长板条沿其长度方向呈等间隔阵列地设有固定凹形件，固定凹形件均向上延伸地设有连接板，连接板的上端均设有底衬弧板，底衬弧板的内壁均成形有限位弧槽。本实用新型在进行晶圆盘加工时，能对晶圆盘进行整齐的摆放，在摆放时能尽可能地避免对晶圆盘的外壁造成划伤，同时在转移时能自动地进行晶圆盘的夹持以及自动且高精度地进行晶圆盘的转移摆放操作，具有较强的实用性。