[实用新型]真空镀膜装置

摘要

本实用新型提供一种真空镀膜装置，利用化学单体气体的聚合在待镀膜工件的表面形成聚合物膜层。所述真空镀膜装置包括：反应腔室，用于容纳待镀膜工件；以及管路组件，用于将所述反应腔室和真空泵组相连通，以通过所述真空泵组对所述反应腔室抽真空；其中，所述管路组件设有单体收集装置，用于使真空气体中的单体气体液化，从而对真空气体中的单体气体进行收集。通过所述单体收集装置来收集真空气体中的单体气体，防止单体因沉积聚合堵塞管路组件中的阀门组件而损坏真空泵组，从而延长了真空泵的使用寿命，提高了设备使用效率和可靠性。