[实用新型]一种蒸发源组件和蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 202122617064.4 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN215925055U | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李梦洁;熊继光;赵志国;赵东明;秦校军;冯笑丹;刘家梁;李新连;张赟 | 申请（专利权）人： | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 100036 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发源组件和蒸发镀膜设备。该蒸发源组件包括分配管，分配管上设有多个蒸发孔；多个沿分配管的长度方向依次排列的蒸发源，并且每个蒸发源均与分配管连通。由于每个蒸发源均与分配管连通，亦即每个蒸发源均通过分配管实现连通，各个蒸发源之间的蒸气能够流通，使得正对蒸发源的位置处与相邻蒸发源之间位置处的蒸气更加均匀，提高了同一基板上不同位置处的膜层均匀性；同时，由于各个蒸发源之间的蒸气能够流通，使得其中一个蒸发源中的原料蒸发完毕后，其他蒸发源中的蒸气能够通过分配管进入该蒸发源，减少蒸发源干耗现象的发生，减少蒸发镀膜设备宕机次数，延长蒸发镀膜设备的镀膜周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 组件 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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