[实用新型]晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘有效
| 申请号： | 202122617656.6 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN216361458U | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 姜保彧;王超星 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/02 | 分类号： | F25D1/02;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京头头知识产权代理有限公司 11729 | 代理人： | 白芳仿;刘锋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘，包括底板，底板上一体焊接中空的盖板，所述水冷盘内部设置有蛇形流道，所述蛇形流道的若干圈流道平行等距布置且均与盖板同轴，所述蛇形流道与外部进水管路、出水管路之间流通有冷却水，所述冷却水对位于所述水冷盘上的晶圆卡盘进行冷却。其目的在于提供一种晶圆卡盘能够得到均匀冷却且有效降低因冷却速率差引起晶圆卡盘热应力的产生的晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 暂存 冷却 水冷 | ||
【主权项】：
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