[实用新型]一种远程控制自动拉制区熔硅单晶的系统有效
| 申请号： | 202122656212.3 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN216712308U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 李小龙;王遵义;刘凯;张强;刘琨;孙健;吴磊;郝大维;张志富;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B13/28;C30B13/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李彦彦 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种远程控制自动拉制区熔硅单晶的系统,配合一台及以上的自带PLC控制器的区熔炉，包括远端控制工作站、设置在区熔炉中炉室侧面的信号窗口、每个信号窗口外侧对应设置有多台相机；每个区熔炉对应设置一台单炉工控机，每台区熔炉信号窗口外侧对应的多台相机的信号输出端均与对应的单炉工控机信号接收端连接；相机的信号输出端还与远端控制工作站连接；所述单炉工控机与远端控制工作站均与PLC控制器连接。本实用新型所述的远端控制工作台实现远程观察控制多台区熔炉内生产情况，也可就单炉工控机对某一个区熔炉进行观察控制，灵活性强，且远程控制减少工作人员，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 远程 控制 自动 拉制 区熔硅单晶 系统 | ||
【主权项】：
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