[实用新型]双列双面曝光机有效

专利信息
申请号: 202122704687.5 申请日: 2021-11-05
公开(公告)号: CN216248759U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 梁添贵;倪沁心;陈铁玉;陈建明 申请(专利权)人: 广东华恒智能科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 张艳美;王乔丽
地址: 523000 广东省东莞市南城街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型的双列双面曝光机,包括设置于机架上的第一传送装置、第一曝光装置、第二传送装置、第二曝光装置和第三传送装置。第一传送装置用于进料,第二传送装置对接第一曝光装置和第二曝光装置,第三传送装置用于出料。第一传送装置、第二传送装置和第三传送装置均包括并列设置的两传送机构。第一曝光装置包括两第一曝光平台和两第一曝光模组,两第一曝光模组共用一个第一光源组件。第二曝光装置包括两第二曝光平台和两第二曝光模组,两第二曝光模组共用一个第二光源组件。本实用新型的双列双面曝光机,可以双列四工位进行曝光,不仅效率高,而且部分部件共用,节约了成本。本实用新型的双列双面曝光机,结构合理效率高。
搜索关键词: 双面 曝光
【主权项】:
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