[实用新型]一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备

摘要

本实用新型公开了一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，包括磁控溅射机构，磁控溅射机构的一侧固定连接有磁化箱，磁化箱的一侧固定连接有进水管道，磁化箱的内侧可拆卸安装有磁化机构，磁化机构包括永磁盘、固定连接于永磁盘外侧的固定盘、连接于永磁盘一侧的电控磁铁，电控磁铁的输入端电性连接有控制器，磁化机构之间相对分布，磁化箱的内腔安装有分流板；上述方案中，通过磁化机构的作用，在进行冷却水的磁化过程中，可以通过电控磁铁和永磁盘的相互配合，使得磁感线的密度大小可以利用调控通过电控磁铁的电流进行控制，以此实现不同水流量情况下能够保证冷却水的充分磁化，提高了冷却水的磁化效率。